Nach 1945
Nachdem er bis dahin unbehelligt im schwäbischen Blaubeuren als Arzt gearbeitet hatte, wurde der erste Lagerleiter Irmfried Eberl im Januar 1948 inhaftiert. Am 16. Februar 1948 beging er in Untersuchungshaft Selbstmord. Seinem Nachfolger Franz Stangl gelang, als wegen der Morde in der NS-Tötungsanstalt Hartheim gegen ihn ermittelt wurde, 1948 die Flucht aus dem Untersuchungsgefängnis in Linz. Er floh zunächst nach Syrien, später nach Brasilien.
Als 1950 in Deutschland dann die juristische Aufarbeitung der außerhalb des Reichsgebietes begangenen NS-Verbrechen begann, waren mindestens 20 der 56 Täter aus Treblinka bereits tot oder galten als vermisst. Von den noch zu ermittelnden lebenden Tätern wurden 18 zur Aussage vorgeladen. Die übrigen ließen sich nicht identifiziert, konnten nicht ermittelt werden oder wurden nicht ausgeliefert.
Schließlich konnten zwölf Angeklagte wegen ihrer in Treblinka begangenen Verbrechen vor Gericht gestellt werden. Der erste der drei Treblinka-Prozesse wurde 1950 eröffnet. Der darin angeklagte Josef Hirtreiter, ein ehemaliger Aufseher im Lager, wurde im März 1951 vom Schwurgericht Frankfurt zu lebenslanger Haft verurteilt.
Systematische Vorermittlungen zu den drei Vernichtungslagern der „Aktion Reinhardt“ wurden jedoch erst im Juli 1959 in der Zentralen Stelle der Landesjustizverwaltungen zur Aufklärung nationalsozialistischer Verbrechen in Ludwigsburg in Angriff genommen und das Verfahren zu Treblinka kurz darauf an die Staatsanwaltschaft Düsseldorf abgegeben. Von Oktober 1964 bis September 1965 fand vor dem dortigen Landgericht schließlich der zweite Treblinka-Prozess gegen zehn Angeklagte statt, in dessen Rahmen der stellvertretende und schließlich letzte Lagerkommandant, Kurt Franz, der Lagerführer des „Oberen Lagers“, Heinrich Arthur Matthes, sowie die beiden im „Lazarett" und bei anderen Kommandos tätigen Landwirte Willi Mentz und August Wilhelm Miete zu lebenslanger Haft verurteilt wurden. Weitere Angeklagte erhielten Haftstrafen zwischen drei und sieben Jahren, während Richard Otto Horn, der Arbeitskommandos im „Oberen Lager“ geleitet hatte und nicht durch Gewalttätigkeit aufgefallen war, freigesprochen wurde. Da das zivile Strafrecht Anwendung fand, wurden die ehemaligen Angehörigen des Lagerpersonals in der Regel aber nicht wegen ihres arbeitsteiligen Beitrags zum systematischen Massenmord der „Aktion Reinhard“, sondern wegen individuell begangener Morde verurteilt.
Nachdem Franz Stangl als früherer Lagerkommandant von Sobibor und Treblinka 1967 schließlich doch noch von Brasilien an Deutschland ausgeliefert worden war, fand ein weiterer - der dritte - Treblinka-Prozess vor dem Landgericht Düsseldorf statt, in dem er nach siebenmonatiger Verhandlungsdauer im Dezember 1970 zu lebenslanger Haft verurteilt wurde.